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ISO/TR 14999-3:2005 光学和光子学-光学元素和光学系统的干涉测量方法 - 第3部分： 干涉测量试验装置和测量方法校准和确认
标准编号：ISO/TR 14999-3:2005
中文名称：光学和光子学-光学元素和光学系统的干涉测量方法 - 第3部分： 干涉测量试验装置和测量方法校准和确认
英文名称：Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems — Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements
发布日期：2005-03
标准范围
ISO/TR 14999-3:2005讨论了误差来源以及将误差分为对称和非对称部分。它还描述了测量对物理参考表面质量的依赖，以及能够实现绝对校准的测试程序的开发。
标准预览图
