ISO 14644-3:2019 洁净室及相关受控环境 第3部分：试验方法

标准编号：ISO 14644-3:2019

中文名称：洁净室及相关受控环境 第3部分：试验方法

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods

发布日期：2019-08

标准范围

本文件提供了支持洁净室和洁净区运行的测试方法，以满足空气清洁度分类、其他清洁度属性和相关受控条件。规定了两种类型的洁净室和洁净区的性能测试:具有单向气流的洁净室和具有非单向气流的洁净室，在三种可能的占用状态下:竣工、静止和运行。提供了测定性能参数的试验方法、推荐试验装置和试验程序。如果试验方法受洁净室或洁净区类型的影响，建议采用替代程序。对于一些试验，建议采用几种不同的方法和设备，以适应不同的最终用途考虑。本文件中未包含的替代方法可由客户和供应商协商使用。替代方法不一定提供等效测量。本文件不适用于洁净室、洁净区或分离装置中产品或过程的测量。注:本文件无意说明与其使用相关的安全注意事项（例如，在使用危险材料、操作和设备时）。本文件的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践，并确定监管限制的适用性。

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