ISO 23131:2021 椭偏测量 原理

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 23131:2021

中文名称:椭偏测量 原理

英文名称:Ellipsometry — Principles

发布日期:2021-04

标准范围

本文件规定了一种通过认可的测试实验室测定UV-VIS-NIR光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。适用于独立测量系统。结果不确定度的表示符合ISO/IEC指南98-3。

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