立即下载标准文件- ISO 3443-5:1982 建筑结构.建筑公差.第5部分：用于公差规范的数值系列
- ISO 9650-1:2005 小型飞机 膨胀的救生筏 - 第1部分：类型1
- ISO 13289:2011 娱乐性潜水服务 使用水下呼吸管潜游的引导要求
- ISO/TS 19159-2:2016 地理信息 遥感图像传感器与数据的校准和验证 第2部分：激光雷达
- ISO 8623:1997 色漆和清漆用高油脂酸 规范和试验方法.
- ISO 1126:2015 橡胶配合剂 炭黑 加热损失的测定
- ISO 11090-1:2014 凹模电子交换机床（EDM）的试验条件 术语和精密试验 第1部分：单柱机床（十字工作台和固定工台）
- ISO 1996-1:2003 声学.环境噪音的等级和测量.第1部分：基本量值和步骤
- ISO 18319-2:2022 混凝土结构用纤维增强聚合物（FRP）钢筋 第2部分：CFRP带规范
- ISO 20150:2019 鞋类和鞋类部件 评定抗真菌活性的定量挑战试验方法
ISO 23216:2021 碳基薄膜 用椭偏光谱法测定非晶碳薄膜的光学特性
标准编号：ISO 23216:2021
中文名称：碳基薄膜 用椭偏光谱法测定非晶碳薄膜的光学特性
英文名称：Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
发布日期：2021-05
标准范围
本文件规定了用于确定n-k平面内不同类型的非晶碳膜的光学性质（折射率n和消光系数k）和光学分类的光谱椭偏法。它适用于通过电离蒸发、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝技术等沉积的非晶碳膜。它不适用于用金属或硅改性的碳膜、在厚度上具有组成/性能梯度的无定形碳膜、油漆和清漆。
标准预览图
