ISO 25178-607:2019 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:区域 第607部分:非接触的标称特性(共焦显微镜)工具

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 25178-607:2019

中文名称:产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:区域 第607部分:非接触的标称特性(共焦显微镜)工具

英文名称:Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 607: Nominal characteristics of non-contact (confocal microscopy) instruments

发布日期:2019-03

标准范围

本文描述了共焦显微镜系统用于表面形貌面积测量的影响量和仪器特性。由于可以从表面形貌图像中提取表面轮廓,因此本文中描述的方法也可以应用于轮廓测量。

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