ISO 22493:2008 微光束分析 扫描电子显微镜术 词汇表

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 22493:2008

中文名称:微光束分析 扫描电子显微镜术 词汇表

英文名称:Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Vocabulary

发布日期:2008-10

标准范围

ISO 22493:2008定义了扫描电子显微镜(SEM)实践中使用的术语。它涵盖了一般概念和具体概念,按照系统顺序按照其层次结构进行分类,并在适当的情况下包括ISO 23833中已经定义的术语。该词汇表适用于与SEM实践相关的所有标准化文件。此外,词汇表中的一些条款适用于与相关领域(如EPMA、AEM、EDS)相关的文件,以定义与这些领域相关的术语。

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