ISO 14644-17:2021 洁净室和相关受控环境 第17部分：颗粒沉积速率应用

标准编号：ISO 14644-17:2021

中文名称：洁净室和相关受控环境 第17部分：颗粒沉积速率应用

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 17: Particle deposition rate applications

发布日期：2021-02

标准范围

作为污染控制计划的一部分，本文件给出了洁净室中一个或多个脆弱表面上颗粒沉积速率测量结果的解释和应用方向。它提供了一些关于如何影响颗粒沉积速率和降低易受损伤表面上颗粒污染风险的说明。本文件提供了洁净室用户如何使用颗粒沉积速率测量值来确定易受伤害表面上大颗粒的限制的信息。它还提供了一种风险评估方法，通过该方法，可以确定颗粒沉积到洁净室易受伤害表面上的可接受风险，如果达不到这一点，还可以使用一些方法来降低颗粒沉积速率。颗粒沉积速率的另一种替代方法是颗粒遮蔽速率，它决定了随着时间的推移，颗粒在表面区域的覆盖率增加的速率。粒子遮蔽率可以与粒子沉积率类似的方式使用，并且可以计算指定表面所需的粒子遮蔽率，从而降低沉积粒子的风险。本文件不包括:-提供一种根据颗粒沉积率或颗粒遮蔽率对洁净室进行分类的方法；-直接考虑微生物携带颗粒的沉积，尽管它们可以被视为颗粒；-考虑通过接触产生的表面沉积，例如，当人员接触产品并转移污染物时。

标准预览图