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ISO 19318:2021 表面化学分析 X射线光电子能谱 电荷控制和电荷校正方法的报告
标准编号:ISO 19318:2021
中文名称:表面化学分析 X射线光电子能谱 电荷控制和电荷校正方法的报告
英文名称:Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of methods used for charge control and charge correction
发布日期:2021-06
标准范围
本文件规定了报告分析结果的最低信息量,以描述用X射线光电子测量绝缘试样的芯层结合能时的电荷控制和电荷校正方法。它还提供了结合能测量中电荷控制和电荷校正的方法。
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