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ISO 14644-5:2004 洁净室及相关受控环境 第5部分：操作
标准编号：ISO 14644-5:2004
中文名称：洁净室及相关受控环境 第5部分：操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations
发布日期：2004-08
标准范围
ISO 14644-5:2004规定了洁净室操作的基本要求。它适用于那些计划使用和运营洁净室的人。ISO 14644本部分未考虑与污染控制无直接关系的安全方面，必须遵守国家和地方安全法规。本文件考虑了用于生产各类产品的各类洁净室。因此，它的应用范围很广，没有针对个别行业的具体要求。ISO 14644本部分未详细介绍洁净室内常规监测的方法和程序，但应参考ISO 14644-2和ISO 14644-3监测颗粒物，以及ISO 14698-1和ISO 14698-2，用于监测微生物。
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