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ISO 16700:2004 微束分析 电子扫描显微镜-用于校准影像放大倍率的指南
标准编号：ISO 16700:2004
中文名称：微束分析 电子扫描显微镜-用于校准影像放大倍率的指南
英文名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
发布日期：2004-03
标准范围
ISO 16700:2004规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）产生的图像放大率的方法。该方法仅限于由校准标准物质中结构的可用尺寸范围确定的放大率。本国际标准不适用于专用临界尺寸测量SEM。
标准预览图
