ISO 21360-4:2018 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第4部分：涡轮分子的真空泵

标准编号：ISO 21360-4:2018

中文名称：真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第4部分：涡轮分子的真空泵

英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps

发布日期：2018-07

标准范围

本文件与ISO 21360-1一起规定了涡轮分子真空泵性能特性的测量方法。它适用于所有尺寸和所有类型的涡轮分子真空泵，包括-带有机械或磁性轴承；-轴上有或没有附加的阻力级或其他泵级；-具有一个或多个进气口。由于涡轮分子真空泵由主泵支持，其性能不能完全由体积流量曲线确定。此外，涡轮分子真空泵的驱动装置和背压对其性能也很重要。以下内容完成了性能特征:-涡轮分子真空泵的流量和背压信息；-压缩比曲线（涡轮分子真空泵的压缩比与背压）。

标准预览图