ISO 22581:2021 表面化学分析 来自x射线光电子能谱测量扫描的近实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则

标准编号：ISO 22581:2021

中文名称：表面化学分析 来自x射线光电子能谱测量扫描的近实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则

英文名称：Surface chemical analysis — Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan — Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containi

发布日期：2021-03

标准范围

本文件旨在帮助对材料上的薄膜进行表面分析，这些材料不被认为含有碳化合物作为预期成分，但在测量光谱中观察到C1s峰。薄膜可以是通过需氧或电化学氧化在金属和合金上生成的，也可以是沉积在惰性基底上的。所述程序不适用于基底上颗粒的不连续沉积。除此之外，还提供了一个简单的程序，用于从含碳表面污染物中识别C1s信号。当C1s峰值被确定为由不定上覆层引起时，可对测量光谱得出的成分的影响进行校正。建议的程序以简单规则的形式提供，以“如果-那么”的格式进行结构化，目的是它们所包含的信息可能会被数据系统中的自动化程序使用。提供的规则仅使用从XPS调查扫描中检索到的信息。

标准预览图