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ISO 18114:2021 表面化学分析 二次离子质谱法 离子注入标准物质的相对灵敏度因子测定
标准编号：ISO 18114:2021
中文名称：表面化学分析 二次离子质谱法 离子注入标准物质的相对灵敏度因子测定
英文名称：Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
发布日期：2021-05
标准范围
本文件规定了从离子注入参考材料中测定二次离子质谱（SIMS）相对灵敏度因子（RSF）的方法。该方法适用于基质化学成分均匀，且注入物种峰值浓度不超过1个原子百分比的试样。
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