ISO 18114:2003 表面化学分析-中级离子光谱法-离子安放参考材料相关灵敏因素测定

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 18114:2003

中文名称:表面化学分析-中级离子光谱法-离子安放参考材料相关灵敏因素测定

英文名称:Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

发布日期:2003-04

标准范围

ISO 18114:2003规定了从离子注入标准物质中测定二次离子质谱(SIMS)相对灵敏度因子(RSF)的方法。该方法适用于基质化学成分均匀,且注入物种峰值浓度不超过1个原子百分比的试样。

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