ISO 21360-5:2023 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第5部分：非蒸发吸气剂（NEG）真空泵

标准编号：ISO 21360-5:2023

中文名称：真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第5部分：非蒸发吸气剂（NEG）真空泵

英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps

发布日期：2023-11

标准范围

本文件规定了测量非蒸发吸气剂（NEGs）泵浦特性的方法。它适用于所有尺寸和所有类型的负片，包括:—？具有丸状、盘状、环状、条状、模块状、筒状；—？具有泵结构；—？以及在管道和真空室的内表面上的NEG涂层。NEG和其他真空泵的泵送特性的显著区别在于NEG的泵送速度取决于吸附量。此外，特别是在NEG涂层的情况下，粘附概率而不是泵送速度通常是泵送性能的指标。因此，本文件规定了测量泵送速度、吸附量和NEGs粘附概率的方法。警告？假设用户熟悉可燃气体和有毒气体的处理以及超高真空技术。

标准预览图