ISO 20523:2017 碳基薄膜 分类和命名

标准编号：ISO 20523:2017

中文名称：碳基薄膜 分类和命名

英文名称：Carbon based films — Classification and designations

发布日期：2017-09

标准范围

ISO 20523:2017规定了碳基薄膜的分类、名称和简称。这些膜中碳是主要组成部分，并通过物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积工艺沉积。这包括非晶碳基膜，也称为类金刚石碳膜（DLC），以及CVD金刚石膜、石墨和类聚合物膜。ISO 20523:2017适用于工业规模生产的薄膜。其他碳基薄膜正在开发中。ISO 20523:2017指的是碳基薄膜的材料。它不是指整个涂层，该涂层可以由一个主要功能层和下面或上面的附加层组成。层的组成和/或材料性质可以随其厚度而变化。这种层称为梯度层。本文件中的定义涉及非梯度层。碳基膜可以包括其他元素，如氢、金属元素或其他。金属成分可以包括为金属碳化物。如果碳是主要组成部分，则本文件仅涵盖含有附加元素的薄膜。作为碳化物结合的碳，如可存在于含金属的非晶碳膜（a-C:Me，a-C:H:Me）中的碳，不计入该量。ISO 20523:2017不适用于富勒烯、碳纳米管和石墨烯等碳材料类别。

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