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ISO/TS 25138:2019 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
标准编号:ISO/TS 25138:2019
中文名称:表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
英文名称:Surface chemical analysis — Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry
发布日期:2019-08
标准范围
本文件描述了一种辉光放电光发射光谱法,用于测定金属氧化物薄膜的厚度、单位面积质量和化学成分。该方法适用于厚度为1nm至10000nm的金属氧化膜。氧化物的金属元素可包括Fe、Cr、Ni、Cu、Ti、Si、Mo、Zn、Mg、Mn、Zr和Al中的一种或多种元素。可通过该方法测定的其他元素为O、C、N、H、P和S。
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