ISO 21360-3:2019 真空技术 真空泵性能测量的标准方法 第3部分:机械增压真空泵的具体参数

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 21360-3:2019

中文名称:真空技术 真空泵性能测量的标准方法 第3部分:机械增压真空泵的具体参数

英文名称:Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum pump performance — Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps

发布日期:2019-01

标准范围

本文件规定了机械增压真空泵的最大容许压差、有效压缩比、零通量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。它适用于用于中真空或粗真空应用的机械增压真空泵,包括气冷机械增压真空泵和多机械增压真空泵系统。它涵盖了机械增压器不同于通常的容积式真空泵的特殊特性。最大容许压差Δ Pmax、有效压缩比Keff、零通量压缩比K0和溢流阀压差Δ P1是机械增压真空泵性能的特殊性。

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