ISO/TS 6737:2023 真空技术 真空计 稳定电离真空计的特性

标准编号：ISO/TS 6737:2023

中文名称：真空技术 真空计 稳定电离真空计的特性

英文名称：Vacuum technology — Vacuum gauges — Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge

发布日期：2023-11

标准范围

本文件描述了一种电离真空计的特殊设计，它具有明确的电离电子路径长度。[2]由于结构设计，它具有良好的测量精度、长期稳定性，以及对氮和相对灵敏度因子的独立和可重复的灵敏度[3][4]。它是为10-6的测量范围设计的？Pa到10比2？爸爸。该文件仅描述了与电子和离子轨迹相关的测量头的尺寸和电位。该文件没有详细描述操作电离真空计所需的电气部件。测量头可以通过市售的电压和电源以及电流表来操作，但也可以通过专门为该测量头的操作而构建的控制器来操作。本文件中描述的电离真空计可以由其他电离真空计的任何有经验的制造商制造。它不受知识产权保护。对于本文件，假定申请人熟悉电离真空计的物理和原理以及一般的高真空和超高真空技术。

标准预览图