ISO/TS 20177:2018 真空技术 真空压力表 测量和报告排气速度的程序

标准编号：ISO/TS 20177:2018

中文名称：真空技术 真空压力表 测量和报告排气速度的程序

英文名称：Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure and report outgassing rates

发布日期：2018-06

标准范围

本文件描述了测量为真空室设计的部件和整个真空室的除气率的程序。除气率预计低于10？5帕m3 s？1（10？2 Pa L s？1）在23°C下，并从适用于高或超高真空应用的设备中出现。除气物质或蒸汽的分子量低于300u。上限10？5帕m3 s？总除气率的1与除气材料的尺寸、总表面积和纹理或状态无关。如果确定了特定的除气率(单位面积的除气率)，则该面积不是包括表面粗糙度的比表面积，而是标称几何面积。当难以确定样品的标称几何表面积时，如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或复杂的器件，质量比除气率（例如。g.每克排气速率）。对于许多实际应用，确定总除气率就足够了。如果使用灵敏度取决于气体种类的测量仪器，则总放气速率以氮气当量给出。然而，在总放气速率太高的情况下，识别干扰气体种类，并测量其放气速率以改进样品材料。本文件涵盖了这两种情况。一些脱气分子可以吸附在表面上，停留时间远超过测量总时间。当没有直接视线时，这种分子不能被检测仪器检测到。这被认为是表面效应，表面分析研究比这里考虑的一般除气率测量更有用。此外，通过UV光或X射线的照射从表面释放的分子超出了本文的范围。编写本文件是为了标准化除气率的测量，使在不同实验室和通过不同方法获得的值具有可比性。为此，对于任何所描述的方法，对于每种方法的最重要参数并根据计量水平向国际系统(SI)提供可追溯性。通过质量损失测量除气率主要是为测试航天器和卫星材料而开发的，不是特定于气体的。对于可接受的测量时间，质量损失测量需要明显更高的除气速率（>10？5 Pa m3 s？1）高于高真空和超高真空部件的典型值。此外，由于真空室的重量，不可能原位测量样品，因为天平不是真空兼容的。由于这些原因，本文件中不考虑质量损失测量。假设本文件的用户熟悉高真空和超高真空技术以及相应的测量仪器，例如电离仪和四极质谱仪。

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