ISO 14644-10:2022 洁净室和相关受控环境 第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类

标准编号：ISO 14644-10:2022

中文名称：洁净室和相关受控环境 第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination

发布日期：2022-05

标准范围

本文件建立了适当的测试过程，以确定洁净室表面是否存在化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）。本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、天花板、地板、工作表面、工具、设备和装置。注意1.在本文件中，仅考虑颗粒的化学特性。未考虑颗粒的物理性质，本文件未涵盖污染物与表面之间的相互作用。注意2.本文件不包括污染物产生过程或任何与时间相关的影响（例如沉积、沉淀、老化）或与过程相关的活动，例如运输和搬运。它也不包括关于统计质量的指导-确保合规性的控制技术。

标准预览图