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ISO/TS 22933:2022 表面化学分析 二次离子质谱法 SIMS中质量分辨率的测量方法
标准编号：ISO/TS 22933:2022
中文名称：表面化学分析 二次离子质谱法 SIMS中质量分辨率的测量方法
英文名称：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
发布日期：2022-04
标准范围
本文件规定了一种测量二次离子质谱中质量分辨率的方法，以及如何通过考虑峰形状来比较不同仪器（例如TOF-SIMS、磁性二次离子质谱、四极二次离子质谱、傅立叶变换二次离子质谱等）之间的质量分辨率。
标准预览图
