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ISO 14644-2:2015 洁净室及相关受控环境 第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
标准编号：ISO 14644-2:2015
中文名称：洁净室及相关受控环境 第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
发布日期：2015-12
标准范围
None
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