ISO 19694-7:2024 固定源排放 能源密集型工业温室气体排放的测定 第7部分：半导体和显示行业

标准编号：ISO 19694-7:2024

中文名称：固定源排放 能源密集型工业温室气体排放的测定 第7部分：半导体和显示行业

英文名称：Stationary source emissions — Determination of greenhouse gas emissions in energy-intensive industries — Part 7: Semiconductor and display industries

发布日期：2024-02

标准范围

本文件提供了计算半导体和显示行业温室气体(GHG)排放量的方法。该文件包括半导体器件、微机电系统（MEMS）、光伏（PV）器件和显示器的制造。该文件允许出于各种目的和不同的基础报告GHG排放量，如每个工厂、每个公司（按国家或地区）或国际集团。本文件涉及以下所有直接和间接温室气体来源:—？来自本公司拥有或控制的来源的直接温室气体排放[定义见ISO 14064-1:20 18，5.2.4 a)]，例如来自以下来源的排放:—？工艺:氟化化合物(FC)气体和一氧化二氮(N2O)用于蚀刻和晶片清洁(EWC)、远程等离子体清洁(RPC)、原位等离子体清洁(IPC)、原位热清洁(ITC)、N2O薄膜沉积(TFD)和其他使用N2O的工艺；—？与设备和现场车辆、房间供暖/制冷相关的燃料燃烧；—？用于现场发电的燃料的燃料燃烧；—？组织消耗的进口电力、热量或蒸汽产生的间接GHG排放【定义见ISO 14064-1:20 18，5.2.4 b）】。其他间接GHG排放【定义见ISO 14064-1:20 18，5.2.4 c）至f）】是一个组织的活动的结果，但来自其他组织拥有或控制的GHG源，不包括在本文件中。

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