ISO 14644-13:2017 洁净室和相关受控环境 第13部分：清洁表面以达到规定的清洁程度的粒子和化学分类

标准编号：ISO 14644-13:2017

中文名称：洁净室和相关受控环境 第13部分：清洁表面以达到规定的清洁程度的粒子和化学分类

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

发布日期：2017-06

标准范围

ISO 14644-13:2017给出了洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室材料表面清洁到规定程度的指南。正在考虑的是所有感兴趣的表面（外部或内部）。它提供了关于通过颗粒浓度（SCP）和化学浓度（SCC）等级达到所需表面清洁度的清洁方法评估指南，以及应考虑哪些技术来达到这些规定水平。清洁技术的适当性将参考ISO 14644-9和ISO 14644-10中的清洁度等级和相关测试方法。将提供以下一般指导事项:-预期的表面清洁度水平；-清洁方法的适用性；-表面与清洁技术的兼容性；-清洁适宜性评估。本文件不包括以下内容:-清洁方法的分类；-洁净室内生产的产品；-比表面-相关清洁方法；-详细说明各种清洗方法的清洗机理、方法和程序；-详细的材料特性；-通过清洁过程和时间相关效应描述损坏机制；-指污染物与表面之间的相互作用力，或通常与时间和过程有关的生成过程；-粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷等。；-分子污染物与表面之间的化学反应；-表面清洁度的微生物学方面；-污染的放射性方面；-健康和安全考虑；-环境方面，如废物处理、排放等。；-统计方法的选择和使用。

标准预览图