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ISO 21360-6:2023 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第6部分：低温真空泵
标准编号：ISO 21360-6:2023
中文名称：真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第6部分：低温真空泵
英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps
发布日期：2023-12
标准范围
本文件规定了低温真空泵的体积流量、最大通过量、泵送能力、基压低温真空泵、冷却时间和交叉值的测量方法。它适用于两级、闭环气态氦低温真空泵，可以直接法兰连接到真空室。
标准预览图
