ISO/TR 14999-1:2005 光学和光子学-光学元素和光学系统的干涉测量方法 - 第1部分: 术语,定义和相关的基本原理

国际标准(ISO)

标准编号:ISO/TR 14999-1:2005

中文名称:光学和光子学-光学元素和光学系统的干涉测量方法 - 第1部分: 术语,定义和相关的基本原理

英文名称:Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems — Part 1: Terms, definitions and fundamental relationships

发布日期:2005-03

标准范围

ISO/TR 14999-1:2005给出了光学波前干涉测量和光学元件表面形状的术语、定义和基本物理和技术关系。它解释了为什么由于要测量的波前的波动性质,干涉仪的一些构造和使用原理很重要。由于除了非常延伸的平面波之外,所有波前在传播时都会改变其形状,ISO/TR 14999-1:2005还包括一些有关波传播的基本信息。在实践中,可以使用各种配置进行干涉测量;ISO/TR 14999-1:2005概述了双光束干涉的基本配置。利用复振幅的概念和两个基本方程建立了光波的数学公式-建立光束干涉来解释从测量的强度分布(无论是在时间上还是在空间上)导出相位信息的原理。随机误差和系统误差都可能影响干涉测量的结果,因此ISO/TR 14999-1:2005中描述了需要明确区分的误差类型。

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