GB/T 5275.7-2025 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器

标准编号：GB/T 5275.7-2025

标准名称：气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器

英文名称：Gas analysis—Preparation of calibration gas mixtures using dynamic methods—Part 7:Thermal mass-flow controllers

发布日期：2025-10-05

实施日期：2026-05-01

提出单位：中国石油和化学工业联合会

归口单位：全国气体标准化技术委员会

批准发布部门：中国石油和化学工业联合会

起草人

胡树国、陈雅丽、李俊杰、胡博、赖晓峰、高天东、郑力文、郑择、李帅楠、殷越玲、吴国忠、胡迎、蔡金、马浩淼、唐霞梅、台锡冬、李志昂、葛建兵、张波、陈艳珊、沈远杰

起草单位

西南化工研究设计院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、华测检测认证集团股份有限公司、四川凯发计量检测有限公司、四川莱峰流体设备制造有限公司、艾科思电子科技(常州)有限公司、广东华特气体股份有限公司、中国计量科学研究院、中国测试技术研究院化学研究所、河南省计量测试科学研究院、大连大特气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司

标准范围

GB/T 5275是用于制备校准用混合气体的各种动态方法的系列文件。本文件描述了使用热式质量流量控制器，利用纯气或混合气连续制备校准用混合气体的方法。本文件适用于组分不发生反应的混合气体，即组分不与构成热式质量流量控制器或辅助设备流路的材质发生反应。

使用本文件给出的方法制备的校准用混合气体所能达到的最好水平如下：相对测量扩展不确定度（由标准不确定度乘以包含因子k=2得到）U不大于2%。

如使用预混合气体代替纯气，能制备摩尔分数低于10^-6的混合气体。质量流量的测量不是绝对的，流量控制器需要单独校准。

本文件方法的优点是能连续制备大量的校准用混合气体，并且只要使用适当数量的热式质量流量控制器，就能像制备二元混合气体一样方便地制备多组分混合气体。

标准文档截图