GB/T 46057-2025 微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法

国家标准

标准编号：GB/T 46057-2025

标准名称：微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法

英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM

发布日期：2025-08-29

实施日期：2026-03-01

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

丁泽军、陆大宝、李永钢、李会民、邹艳波、毛世峰

中国科学技术大学、中国科学院合肥物质研究院、新疆师范大学、安徽大学

本文件规定了基于模型数据库(MBL)方法通过测长扫描电子显微镜(CD-SEM)成像来测定晶圆和光掩膜的关键尺寸(CD)值所需的结构模型、相关参数、文件格式和拟合程序。

本文件适用于试样的线宽测定，如晶圆上的栅极、光掩膜、单个孤立或密集排列的线特征图案，最小达10 nm。