GB/T 46178-2025 电子级四（二甲氨基）钛

标准编号：GB/T 46178-2025

标准名称：电子级四（二甲氨基）钛

英文名称：Electronic grade tetrakis（dimethylamide）titanium

发布日期：2025-10-05

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈德义、曹可慰、陆平、史泽远、陈鹏宇、宣宗亮、高周、高朋、赵俊莎、吴怡然、娄夏冰、王小亮、刘立伟、张汝志、张宝帅、马得森、刘能巧、孟庆典、姚梦、华淑雅、茅炳荣、徐文涛、孙明璐、孙鹏、张婷、张健、鲁铮、郭威、魏良杰、毛国玉、汪海燕、何晓晨、孙丽丽、曹益宁、王博文、彭元兵、孙建、李雪

起草单位

南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、长江存储科技有限责任公司、苏州源展材料科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、安徽博泰电子材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电（淄博）有限公司

标准范围

本文件规定了半导体行业用电子级四(二甲氨基)钛的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。

本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四(二甲氨基)钛。

标准文档截图