GB/T 46699-2025 电子级四甲基硅烷

标准编号：GB/T 46699-2025

标准名称：电子级四甲基硅烷

英文名称：Electronic grade tetramethylsilane

发布日期：2025-10-31

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈德义、徐文涛、史泽远、陈功锋、孙明璐、李春华、赵俊莎、张健、高周、吴怡然、郭威、魏良杰、栗广奉、刘见华、孙丽丽、赵斌、张鹏、彭元兵、周礼、孟庆典、高朋、张佳瑶、曹可慰、茅炳荣、张汝志、马瑞、孙鹏、张婷、鲁铮、李雪、万烨、郝萍、毛国玉、汪晨、刘立伟、张宝帅、曹益宁、陆平、许胜霞、刘能巧、王艺潼、孙建、钱瑶

起草单位

南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、上海市计量测试技术研究院、洛阳中硅高科技有限公司、宁波南大光电材料有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、艾生科（江苏）化工科技有限公司、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、全椒南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、金宏气体股份有限公司、南大光电（淄博）有限公司

标准范围

本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。

本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。

标准文档截图