GB/T 46697-2025 电子级八甲基环四硅氧烷

标准编号：GB/T 46697-2025

标准名称：电子级八甲基环四硅氧烷

英文名称：Electronic grade octamethyl cyclotetrasiloxane

发布日期：2025-10-31

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈德义、沈伊凡、史泽远、曹益宁、刘立伟、马瑞、徐文涛、李春华、鲁铮、吴怡然、万烨、高周、江晓婷、毛国玉、汪晨、孙丽丽、陈功锋、陆平、彭元兵、刘能巧、魏有文、刘治、曹可慰、茅炳荣、孙建、赵俊莎、孙鹏、张婷、张健、何靖、白伟、宋芳源、王荣、李加旺、张宝帅、李俊杰、刘阳赞、王勇、张鹏、李书兵、王敏华、李双、陈琪、钱瑶

起草单位

南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、浙江佳汇新材料有限公司、上海市计量测试技术研究院、洛阳中硅高科技有限公司、浙江新安化工集团股份有限公司、湖北兴瑞硅材料有限公司、金宏气体股份有限公司、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、云南能投硅材科技发展有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、南大光电（淄博）有限公司

标准范围

本文件规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了对应的检测方法。

本文件适用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷，以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。

标准文档截图