GB/T 29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号：GB/T 29056-2025

标准名称：硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry

发布日期：2025-10-31

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

万烨、郭树虎、赵培芝、吴作木、魏东亮、李强、甘俊、汤艳、刘见华、曹俊英、宋丹、王春明、冉祎、康俊勤

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、四川永祥新能源有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海丽豪清能股份有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司

标准范围

本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。

本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。

标准文档截图