GB/T 46698-2025 电子级四氯化钛

标准编号：GB/T 46698-2025

标准名称：电子级四氯化钛

英文名称：Electronic grade titanium tetrachloride

发布日期：2025-10-31

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

李楷东、童祎、史泽远、徐文涛、李开华、常燕、张金宝、赵俊莎、吴怡然、王炳、张宝帅、马昕、曹可慰、罗全安、李春华、马瑞、李俊强、许伟春、王丽娟、陈萍、万烨、李建军、姜士兵、曹轲

起草单位

武汉新硅科技潜江有限公司、中国电子技术标准化研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、中信钛业股份有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司、苏州实验室、上海市计量测试技术研究院、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、洛阳中硅高科技有限公司

标准范围

本文件规定了电子级四氯化钛产品的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全警告等，描述了对应的试验方法。

本文件适用于电子级四氯化钛。该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化钛、特种光纤、特种合成石英等的制造。

标准文档截图