T/CCGA 30009-2025 电子级混合气体配制技术要求

标准编号：T/CCGA 30009-2025

标准名称：电子级混合气体配制技术要求

英文名称：Technical requirements for preparation of electronic gases mixture

发布日期：2025-04-25

实施日期：2025-05-25

团体名称：中国工业气体工业协会

起草人

马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、吴国忠

起草单位

北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会

标准范围

本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求。

本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。

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