GB/T 47097-2026 氮化铝单晶抛光片

标准编号：GB/T 47097-2026

标准名称：氮化铝单晶抛光片

英文名称：Polished monocrystalline aluminum nitride wafers

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

张丽、何烜坤、贺东江、李素青、周振翔、王琦琨、武红磊、王新强、程红娟、王英民、姚康、吴亮、齐海涛、于彤军、李明达

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、奥趋光电技术（杭州）有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、深圳大学、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京中材人工晶体研究院有限公司、北京大学、北京大学东莞光电研究院

标准范围

本文件规定了氮化铝单晶抛光片(以下简称“抛光片”)的牌号与分类、技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容，描述了相应的试验方法。

本文件适用于微波功率器件用直径为25.4 mm和50.8 mm的抛光片的生产、检验及质量评价。

标准文档截图