GB/T 47081-2026 氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

标准编号：GB/T 47081-2026

标准名称：氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

英文名称：Determination of iron, aluminum and calcium of silicon nitride powder—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

邱艳梅、刘国霞、贾琳、李锦春、王春明、赵培芝、钟海炎、胡伟、李冰清、李兰兰、刘红亮、曹俊英、李强、陈彩霞

起草单位

新疆新特新能材料检测中心有限公司、山东中临半导体新材料有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、高富高新材料（浙江）有限公司、四川永祥新能源有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、松山湖材料实验室

标准范围

本文件描述了氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的电感耦合等离子体发射光谱测定方法。

本文件适用于氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定，测定范围为0.001 mg/g~4.00 mg/g。

标准文档截图