GB/T 47073-2026 表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析

标准编号：GB/T 47073-2026

标准名称：表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析

英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

提出单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

批准发布部门：中国科学院

起草人

邱丽美、范燕、武春霞、忻睦迪、王海、侯俊先、徐鹏

起草单位

中石化石油化工科学研究院有限公司、中国计量科学研究院、国家纳米科学中心、季华实验室、河北工程大学

标准范围

本文件描述了使用中能离子散射术（MEIS）对硅基底上无定形重金属氧化物超薄膜进行定量深度剖析的方法。

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