T/FSS 133-2024 佛山标准 光刻气 氪氩混合气

标准编号：T/FSS 133-2024

标准名称：佛山标准 光刻气 氪氩混合气

英文名称：Foshan standard Photolithography gases Krypton and argon mixed gases

发布日期：2024-09-26

实施日期：2024-09-29

团体名称：佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会

起草人

傅铸红、叶相平、邹宏栋、黄汉滨、吴维孟

起草单位

广东华特气体股份有限公司、佛山市佛山标准和卓越绩效管理促进会、佛山市标准化协会

标准范围

本文件规定了光刻气氪氩混合气的术语和定义、技术要求、制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全信息及质量承诺。

本文件适用于由高纯氪和高纯氩为原料制备的混合气体。

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