T/CASAS 054-2025 氮化铝晶片吸收系数测试方法

团体标准

标准编号：T/CASAS 054-2025

标准名称：氮化铝晶片吸收系数测试方法

英文名称：Test method for the absorption coefficient of AlN polished wafers

发布日期：2025-05-20

实施日期：2025-05-20

团体名称：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草人

刘志彬、吴亮、于彤军、程红娟、张雷、徐广源、张童、王新强、宋德鹏、高伟

中国科学院半导体研究所、奥趋光电技术(杭州)有限公司、北京大学、中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东大学、山西中科潞安紫外光电科技有限公司、山西中科潞安半导体技术研究院有限公司、北京大学东莞光电研究院、山东力冠微电子装备有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。

本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。