T/TCH 002-2022 废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂

团体标准

标准编号：T/TCH 002-2022

标准名称：废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂

英文名称：Regeneration solution of waste wet electronic chemicals Photoresist diluent

发布日期：2022-06-28

实施日期：2022-07-01

团体名称：陕西省天合城市矿产开发利用促进会

起草人

荆维、杨博、张保军、申斌、岳秀伟、冯铁锁、崔博、李宝锋、宋江波、鱼涛、李金灵

陕西省环境科学研究院、西安石油大学、陕西高科环保科技有限公司、蒲城祥火环保新能源有限公司、陕西明瑞资源再生有限公司

本文件规定了废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮存及运输要求。

本文件适用于以半导体和平板显示器等制造及生产过程中所产生的废光刻胶稀释剂混合液或单一物质溶液（丙二醇单甲醚醋酸酯等）为原料，经处理后所得的再生液。