JJF 2291-2025 辉光放电质谱仪校准规范

标准编号：JJF 2291-2025

标准名称：辉光放电质谱仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Glow Discharge Mass Spectrometers

发布日期：2025-09-08

实施日期：2025-12-08

归口单位：全国物理化学计量技术委员会

起草人

周涛、张见营、唐一川、邢志、毕经亮、高颂

起草单位

中国计量科学研究院、清华大学、钢研纳克检测技术股份有限公司、中国航发北京航空材料研究院

标准范围

辉光放电质谱仪（glow discharge mass spectrometry，以下简称GD-MS）是利用辉光放电源作为离子源与质谱分析器连接，对固体样品中化学成分进行分析的仪器。其原理是在低压惰性气体（通常为高纯Ar）氛围中施加电场形成等离子体，样品作为阴极，表面被正离子撞击发生溅射，溅射出的原子进入等离子体中电离，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进人质量分析器按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行定性分析，也可以按照荷质比的离子数目进行定量分析。GD-MS主要由辉光放电离子源、质量分析器、离子检测器三部分组成，配备有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。

本规范适用于辉光放电质谱仪的校准。

标准文档截图