YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

标准编号：YS/T 1740-2025

标准名称：电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

英文名称：Evaluation method for chemical vapor deposition ofelectronic-grade trichlorosilane

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

秦榕、薛心禄、李素青、王志强、曹俊英、万首正、赵娟龙、马淑霞、李球

起草单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、新疆戈恩斯新能源科技有限公司、青海芯测科技有限公司

标准范围

本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程。

本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

标准文档截图