YS/T 1745-2025 分子束外延(MBE)用高纯铝源
标准编号:YS/T 1745-2025
标准名称:分子束外延(MBE)用高纯铝源
英文名称:High purity aluminum source for molecular beam epitaxy (MBE)
发布日期:2025-04-10
实施日期:2025-11-01
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
丁潇、石潇、吴广杰、李清宇、卢鹏荐、曾小龙、王国伟、郑红军、丁蔡辰、刘京明、董志远、赵俊、石晶晶、范录、李俊需
起草单位
南通泰德电子材料科技有限公司、广东先导微电子科技有限公司、武汉拓材科技有限公司、中国科学院半导体研究所、厦门市科力电子有限公司、昆明物理研究所
标准范围
本文件规定了分子束外延(MBE)用高纯铝源(以下简称高纯铝源)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于高纯铝源的生产、检测及质量评价。
标准文档截图

