T/ZZB 3949-2025 阻焊制程激光直写式光刻设备

标准编号：T/ZZB 3949-2025

标准名称：阻焊制程激光直写式光刻设备

英文名称：Laser direct writing lithography equipment for solder mask process

发布日期：2025-12-20

实施日期：2025-12-31

团体名称：浙江省质量协会

起草人

焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华

起草单位

杭州欣俊哲微纳科技有限公司、安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司

标准范围

本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备（以下简称“光刻设备”）的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺。

本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中，利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备。

标准文档截图