GB/T 47404-2026 碳化硅单晶

国家标准

标准编号：GB/T 47404-2026

标准名称：碳化硅单晶

英文名称：Monocrystalline silicon carbide

发布日期：2026-03-31

实施日期：2026-10-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

佘宗静、彭同华、李国鹏、侯晓蕊、邹宇、娄艳芳、王波、张红岩、丁雄杰、蔡振立、胡建荣、郭森

北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、广东天域半导体股份有限公司、杭州晶驰机电有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、宁夏创盛新材料科技有限公司

本文件规定了碳化硅单晶的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于直径不大于300 mm的4 H及6 H碳化硅单晶。