JJF 2382-2026 光谱共焦位移测量仪校准规范

国家计量技术规范(JJF)

标准编号：JJF 2382-2026

标准名称：光谱共焦位移测量仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Chromatic Confocal Linear Instruments

发布日期：2026-04-02

实施日期：2026-10-02

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

起草人

朱小平（中国计量科学研究院）;李加福（中国计量科学研究院）;赵新丽（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）;赵宏亮（新疆维吾尔自治区计量测试研究院）;黄玉珠（河南省计量科学研究院）;时博洋[思显光电技术（上海）有限公司];郑伟峰（厦门市计量检定测试院）

中国计量科学研究院;中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所;新疆维吾尔自治区计量测试研究院;河南省计量科学研究院;思显光电技术（上海）有限公司;厦门市计量检定测试院

光谱共焦位移测量仪（以下简称测量仪）是一种通过光学色散原理建立距离与波长的对应关系，利用光谱仪解码光谱信息，从而获得位置信息的装置，通常由光谱共焦传感器、光谱仪及控制器、数据处理电脑组成。测量仪主要用于位移的测量，在微电子、半导体、液晶平板等领域具有广泛的应用。

本校准规范适用于量程为0.1mm至60mm的光谱共焦位移测量仪的校准。