GB/T 32386-2026 电子气体 六氟化钨

标准编号：GB/T 32386-2026

标准名称：电子气体 六氟化钨

英文名称：Electronic gas—Tungsten hexafluoride

发布日期：2026-04-30

实施日期：2026-11-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

张金彪、曹素英、杨扬仲夫、程化鹏、邸士强、江罗、滕鑫胜、袁有录、钱吉、钟卉菲、邓海平、黄辉、尚柏羊、赵跃、殷昊、王阳、谈益强、尹乐乐、史婉君、胡树国、王乐、李洪佳、梁永强、赵洁、王勇、任希辉、何波、黄小强、唐霞梅、王康茂、王瑜、李嘉磊、吴旭飞、钟少勇、杜鹏举、张长金、史兰、侯鹏、方华、娄珈元、王宾、谭淇、刘英杰、房嵩、牛迪、孙鑫、高静、张朋越、马浩淼、吴国忠、宫兵、王大为、袁其龙、姜阳、董志仪、王晓文、赖晓峰、周鹏云

起草单位

昊华气体有限公司、宁夏宝廷新材料科技股份有限公司、中国计量测试学会、天津绿菱气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、三峡大学、浙江省化工研究院有限公司、大特（成都）气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、杭州新世纪混合气体有限公司、和立气体（上海）有限公司、福建优力特材料科技有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、天策标准化服务（天津）有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司、福建德尔科技股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、湖北和远气体股份有限公司、大连华邦化学有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、贵州省产品质量检验检测院、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川凯发计量检测有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、科哲（上海）阀门有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、中国计量科学研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量大学、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司

标准范围

本文件规定了六氟化钨的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相应的试验方法。

本文件适用于以氟或氟化物与钨为原料制备的六氟化钨。

标准文档截图