GB/T 47563-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范

标准编号：GB/T 47563-2026

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Technical specification of MEMS magnetic field sensor

发布日期：2026-04-30

实施日期：2026-08-01

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会、全国集成电路标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

王冠鹰、李根梓、方东明、胡忠强、于振毅、罗慧、程宇心、梁先锋、王建国、和波、吕阳、吴金根、陈浩、刘栋果、黄辉、鞠登峰、阮炳权、戴华键、葛俊、刘明、朱忻、熊贵林、李福超、龙克文、王志良、王翌雪、潘琳斌、闻小龙、赵亚楠、关蒙萌、张波、陆阳、郭经红、江丽娟、王建鲁

起草单位

中国电力科学研究院有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、珠海多创科技有限公司、美的集团股份有限公司、宜昌测试技术研究所、苏州捷研芯电子科技有限公司、宁波泰丰源电气有限公司、国网四川省电力公司营销服务中心、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、广东润宇传感器股份有限公司、山东国创微纳制造研究院有限公司、中机生产力促进中心有限公司、西安交通大学、苏州矩阵光电有限公司、国家仪器仪表元器件质量检验检测中心、三桥惠(佛山)新材料有限公司、珠海芯森电子科技有限公司、北京科技大学、宁波中车时代传感技术有限公司、深圳市英唐智能控制股份有限公司、浙江科丰传感器股份有限公司

标准范围

本文件规定了MEMS磁场传感器的分类、技术要求和试验方法。

本文件适用于线性MEMS磁场传感器的制造、使用、检验。

标准文档截图