GB/T 47719-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法

标准编号：GB/T 47719-2026

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test methods of the performances for MEMS capacitive microphone

发布日期：2026-05-25

实施日期：2026-09-01

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会、全国集成电路标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

张威、张亚婷、张金宇、宋青林、赵晓东、冯艳露、黄天云、石云波、张森、邢朝洋、金文超、闻小龙、方亮、周元东、顾学强、李根梓、李刚、曹笈、杨明、陈得民、胡永刚、彭坤、李立伟、魏宝节、荣根兰、王娜、杨硕、万景明

起草单位

北京大学、芯联集成电路制造股份有限公司、瑞声声学科技(深圳)有限公司、苏州敏芯微电子技术股份有限公司、北京大学南昌创新研究院、无锡华润上华科技有限公司、中国航天时代电子有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司、北京科技大学、湖南捷力泰科技有限公司、东莞市瑞勤电子有限公司、北京智芯传感科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、歌尔微电子股份有限公司、天津新智感知科技有限公司、中北大学、广州增芯科技有限公司、北京赛微电子股份有限公司、无锡华润微电子有限公司、广东鼎创智造科技有限公司、安徽京芯传感科技有限公司、共达电声股份有限公司

标准范围

本文件描述了MEMS电容式麦克风圆片级和器件级性能的试验条件和试验方法。

本文件适用于在空气中使用、频率范围为20Hz~20kHz的MEMS电容式麦克风。

标准文档截图